原子力显微镜APEX-IL

APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测系统。本系统可以轻松检测出晶圆缺陷，分辨率可达纳米级。同时可提供高达10mm的线性长程扫描，以及灵活的换针系统。

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