产品描述
概览
1、APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测设备。APEXIL-X1可实现低噪声、全自动、大吞吐量的粗糙度、关键尺寸量测等三维形貌量测，量测分辨率<0.1nm、自动换针。可提供大于10mm的轮廓扫描、及依据应用场景需要开发定制功能。
2、Z向噪音水平小于0.03nm
3、可配置28位ADC/DAC控制器
4、<2um的待测点自动定位功能
5、12寸晶圆自动量测(可升级兼容8英寸晶圆)
6、标配多种工作模式
7、智能进针和扫描
技术参数
1、扫描器
· XY轴扫描器扫描范围：100μmX100μm，线性误差：小于0.1%
· Z轴扫描器扫描范围：>10μm (可升级/定制更大量程)
2、运动气浮平台：X/Y行程：兼容200mm和300mm
3、光学：5M高分辨率光学相机(目标定位)
工作模式
1、静态力模式
2、动态力模式
3、相位成像模式
4、横向力模式
5、磁力模式
6、静电力模式
7、扩展电阻显微镜(导电力)
8、力调制模式
9、谱线测量模式
· 力-距离曲线
· 振幅-距离曲线
· 电压-距离曲线
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